Products
本系統應用於奈米光罩貼合設備,搭配光罩貼合於玻璃、晶圓 (Wafer)等需高精度定位之元件,影像對位系統提供光罩初定位,並於完成影像定位與自動對焦,透過影像兩點間偏移演算計算光罩定位偏移角度,並將補償值設置於玻璃二次定位,以利光罩與玻璃進行精密貼合作業。
應用產品
透過玻璃或晶圓上的對位 Mark 進行影像比對確認旋轉差異量。
透過兩組獨立三軸影像步進馬達進行影像位置微調,架設於腔體外便利確認觀景窗內狀況與對位品質。
透過高亮度同軸點光源進行影像亮度調整,確保在焦距 220 mm 外能夠準確打光,確認被檢物影像清晰度品質。
本系統僅需鏡頭、工業電腦與光源控制,可快速架設於設備上進行點位設置,無須複雜之接線工序。
光罩提供對位 Mark 供影像定位,進行貼合前初定位
透過光罩對位孔徑 (400 um) 進行玻璃 Mark (100 um) 對位,並提供雙鏡頭影像旋轉補償
計算兩個 Mark 旋轉差異並由光罩設備進行光罩位置校正,並重複進行對位精度修正
設計光罩與玻璃精密貼合作業所需之自動對位系統設備流程,
經由影像計算兩點間旋轉差值,提供設備入料端對玻璃進行位置修正,
增加光罩玻璃貼合之良率。
對位成功率
偏移計算修正
影像補償失真度