產品介紹

本系統應用於奈米光罩貼合設備，搭配光罩貼合於玻璃、晶圓 (Wafer)等需高精度定位之元件，影像對位系統提供光罩初定位，並於完成影像定位與自動對焦，透過影像兩點間偏移演算計算光罩定位偏移角度，並將補償值設置於玻璃二次定位，以利光罩與玻璃進行精密貼合作業。